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一种碳化硅晶体缺陷的检测装置

基本信息

申请号 CN202023167935.9 申请日 -
公开（公告）号 CN213986159U 公开（公告）日 2021-08-17
申请公布号 CN213986159U 申请公布日 2021-08-17
分类号 G01N21/01（2006.01）I;G01N21/95（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 陈敬楠;张平;邹宇 申请（专利权）人 江苏天科合达半导体有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 夏菁
地址 221000江苏省徐州市经济技术开发区创业路26号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种碳化硅晶体缺陷的检测装置，包括检测箱体，检测箱体的箱壁具有遮光功能，检测箱体中间设置有竖直布置的透明隔板，透明隔板将检测箱体分隔成前箱室和后箱室；前箱室内设置有光源和竖直布置的夹具，夹具用于夹持竖直放置的柱状碳化硅晶体，夹具连接有用于驱动夹具绕其自身的竖直轴转动的转动部件，光源用于向柱状碳化硅晶体朝向透明隔板的一侧投射光线，前箱室的顶箱壁和/或侧箱壁为可开合的箱壁结构；后箱室正对透明隔板的一侧箱壁上设置有观察窗口。通过使用该检测装置进行碳化硅晶体缺陷检测操作，在生产车间或任何其他场景下均能执行检测操作，操作十分方便。