一种卡塞包装一体化装置
基本信息
申请号 | CN202022965160.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN213459666U | 公开(公告)日 | 2021-06-15 |
申请公布号 | CN213459666U | 申请公布日 | 2021-06-15 |
分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 李秀丽;张平;邹宇 | 申请(专利权)人 | 江苏天科合达半导体有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 陈志海 |
地址 | 221000江苏省徐州市经济技术开发区创业路26号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型公开了一种卡塞包装一体化装置,包括:机械手,机械手上设置有第一光感定位装置;卡塞内放置有晶圆,卡塞的顶端设置有第二光感定位装置,卡塞的底端设置有第三光感定位装置;盒底盖,盒底盖上设置有第四光感定位装置,当第一光感定位装置与第二光感定位装置定位后,机械手抓取卡塞,使得第三光感定位装置与第四光感定位装置定位后,将卡塞放置在盒底盖上;倾斜平台,倾斜平台上设置有固定位,机械手将放置有卡塞的盒底盖放置在固定位上,倾斜平台上设置有第五光感定位装置;盒顶盖,盒顶盖上设置有第六光感定位装置,机械手抓取盒顶盖,使得第五光感定位装置与第六光感定位装置定位后,将盒顶盖盖合完成卡塞包装,实现自动卡塞包装。 |
