一种卡塞包装一体化装置

基本信息

申请号 CN202022965160.3 申请日 -
公开(公告)号 CN213459666U 公开(公告)日 2021-06-15
申请公布号 CN213459666U 申请公布日 2021-06-15
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李秀丽;张平;邹宇 申请(专利权)人 江苏天科合达半导体有限公司
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 陈志海
地址 221000江苏省徐州市经济技术开发区创业路26号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种卡塞包装一体化装置,包括:机械手,机械手上设置有第一光感定位装置;卡塞内放置有晶圆,卡塞的顶端设置有第二光感定位装置,卡塞的底端设置有第三光感定位装置;盒底盖,盒底盖上设置有第四光感定位装置,当第一光感定位装置与第二光感定位装置定位后,机械手抓取卡塞,使得第三光感定位装置与第四光感定位装置定位后,将卡塞放置在盒底盖上;倾斜平台,倾斜平台上设置有固定位,机械手将放置有卡塞的盒底盖放置在固定位上,倾斜平台上设置有第五光感定位装置;盒顶盖,盒顶盖上设置有第六光感定位装置,机械手抓取盒顶盖,使得第五光感定位装置与第六光感定位装置定位后,将盒顶盖盖合完成卡塞包装,实现自动卡塞包装。