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晶圆检视装置

基本信息

申请号 CN202020905124.5 申请日 -
公开（公告）号 CN212303609U 公开（公告）日 2021-01-05
申请公布号 CN212303609U 申请公布日 2021-01-05
分类号 H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 洪成都;林仲政 申请（专利权）人 苏州桔云科技有限公司
代理机构 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 代理人 寿宁;张琳
地址 江苏省苏州市工业园区星汉街5号腾飞新苏工业坊A幢411室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶圆检视装置，用以检视晶圆，其借由非接触式检测器投射光至放置于载台上的该晶圆，并借由该非接触式检测器与该晶圆的相对运动，以利于该非接触式检测器对该晶圆进行检视。