压电膜及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201610296599.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN107346802B | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN107346802B | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | H01L41/39;H01L41/43;H01L41/18;H01L41/187;C04B35/491;C04B35/453 | 分类 | - |
| 发明人 | 张小飞;吴胜强;李令英;周岩;李鹏;钱波;谢永林 | 申请（专利权）人 | 上海锐尔发数码科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 | 代理人 | 孙伟峰 |
| 地址 | 201799 上海市青浦区沪青平公路2855弄1-72号豪车汇广场A座11层1106号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种压电膜的制备方法，包括：配制稳态液相前驱体；其中，所述稳态液相前驱体的组成与所述压电膜的组成相匹配；提供一基底，在所述基底的表面上制备凸起作为应力释放结构；在所述基底及所述凸起的表面上依次叠层制备隔离层、电极层后，形成衬底；制备压电膜：将所述稳态液相前驱体涂覆在所述衬底的远离所述基底的表面上，并进行初步退火。根据本发明的制备方法，通过制备具有应力释放结构的衬底，有效地释放了由于基底面积太大而引起的应力，从而制备得到大面积、无裂纹且性能良好的压电膜。本发明还公开了由上述制备方法制备获得的压电膜。 |
