一种空间光波导制备方法
基本信息
申请号 | CN201910629078.2 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110320599B | 公开(公告)日 | 2021-08-24 |
申请公布号 | CN110320599B | 申请公布日 | 2021-08-24 |
分类号 | G02B6/13;G02B6/12 | 分类 | 光学; |
发明人 | 史强;唐强;李坤;周立海 | 申请(专利权)人 | 烟台魔技纳米科技有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 丁曼曼 |
地址 | 264000 山东省烟台市经济技术开发区荣昌路1号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请公开了一种空间光波导制备方法,该方法包括:在待连接的通光口载体之间覆涂光刻胶,识别并设计连接路径,利用多次螺旋照射光刻胶制备的支撑结构和固化的支撑结构包裹的光刻胶组成的空间光波导,实现空间光波导的制备。本申请的空间光波导制备方法通过光刻胶对照射光能量的非线性吸收效果,促使光刻胶发生聚合、交联反应而固化,可突破衍射极限,实现加工的分辨率小于100纳米的任意三维形态的空间光波导的加工,因此可以实现空间光波导的三维形态与待连接的通光口尺寸匹配,降低了光波导耦合过程中的损耗,而螺旋加工的支撑结构提升了空间光波导的强度,实现了高质量的大间距器件互连。 |
