一种划片机
基本信息
| 申请号 | CN201910750185.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110524732A | 公开（公告）日 | 2019-12-03 |
| 申请公布号 | CN110524732A | 申请公布日 | 2019-12-03 |
| 分类号 | B28D5/00;B28D5/04 | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 发明人 | 赵彤宇;张志强;李振;司亚辉;孙伟 | 申请（专利权）人 | 郑州光力瑞弘电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 郑州睿信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郑州光力瑞弘电子科技有限公司 |
| 地址 | 450000 河南省郑州市航空港区郑港六路与郑港二街交叉口东100米豫发蓝山公馆二楼229号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及晶圆切割技术领域，尤其涉及一种划片机。具体地，划片机的刀具冷却干燥系统，包括：控制系统；液体管路，其上串接有液路控制阀；气体管路，其上串接有气路控制阀；以及配置在空气静压高速主轴的用于安装刀片的一端的刀侧喷头，刀侧喷头用于从刀片的轴向侧面向刀片喷吹；液体管路和气体管路均与刀侧喷头相连通，控制系统分别与液路控制阀和气路控制阀控制连接，并分别控制气路控制阀和液路控制阀的通断，以实现对刀侧喷头单独供气或供液。本发明的划片机利用了刀侧喷头对刀片进行吹气干燥，并不过多的增加主轴端部结构的复杂性，而且从刀片的轴向旁侧对刀片吹气，也能够提高刀片的干燥程度和干燥效率。 |
