一种刀侧喷头组件、刀片冷却装置及划片机
基本信息
| 申请号 | CN201910750193.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110497541B | 公开（公告）日 | 2021-07-02 |
| 申请公布号 | CN110497541B | 申请公布日 | 2021-07-02 |
| 分类号 | B23Q11/10 | 分类 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 发明人 | 赵彤宇;孙亚辉;陈志辉;吴振波;兰剑 | 申请（专利权）人 | 郑州光力瑞弘电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 郑州睿信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王子龙 |
| 地址 | 450000 河南省郑州市航空港区郑港六路与郑港二街交叉口东100米豫发蓝山公馆二楼229号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及晶圆加工设备技术领域，特别涉及一种刀侧喷头组件、刀片冷却装置及划片机。该划片机包括机架、空气静压高速主轴和刀片冷却装置，刀片冷却装置安装在主轴的用于安装刀片的一端；刀片冷却装置包括固定座、刀片主冷却喷头和刀侧喷头组件；刀片主冷却喷头安装在固定座上；刀侧喷头组件安装在固定座上，刀侧喷头组件包括喷头座和刀侧喷头，刀侧喷头安装在喷头座上，具有用于从刀片的轴向旁侧对刀片进行喷吹的喷吹管段；在使用时喷吹管段处于刀片外侧的刀侧喷头转动或通过万向接头可摆动的安装在喷头座上，且能转动或摆动至在轴向上避开刀片的位置处。该划片机用于解决现有的刀片冷却装置使划片机中的刀片更换操作较麻烦的问题。 |
