一种微小电子元器件的巨量转移设备
基本信息
申请号 | CN202110732032.0 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN113451179A | 公开(公告)日 | 2021-09-28 |
申请公布号 | CN113451179A | 申请公布日 | 2021-09-28 |
分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I;H01L25/16(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 张昕阳;贺云波;刘青山;罗诚;言益军;关晓鸣 | 申请(专利权)人 | 广东阿达智能装备有限公司 |
代理机构 | 佛山市禾才知识产权代理有限公司 | 代理人 | 罗凯欣;曹振 |
地址 | 528225广东省佛山市南海区狮山镇软件园桃园路南海产业智库城一期B栋507室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明公开了一种微小电子元器件的巨量转移设备,包括安装架、第一安装座、第二安装座、源盘机构、目标盘机构、定位机构和刺头机构,所述第一安装座和所述第二安装座分别相对地安装于所述安装架,所述源盘机构安装于所述第一安装座,所述定位机构和所述刺头机构均安装于所述第二安装座,所述定位机构和所述刺头机构均位于所述源盘机构的上方,所述目标盘机构位于所述源盘机构的下方。所述微小电子元器件的巨量转移设备,有效提高了微小电子元器件的转移效率和转移精确度,能够实现微小电子元器件的快速转移,有利于实现微小电子元器件巨量转移的产业化,解决了现有MicroLED芯片或者MiniLED芯片转移设备的转移效率低和转移精度差的问题。 |
