一种MicroLED的巨量转移机构
基本信息
| 申请号 | CN202110574750.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113035766B | 公开（公告）日 | 2021-09-28 |
| 申请公布号 | CN113035766B | 申请公布日 | 2021-09-28 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I;H01L33/00（2010.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 张昕阳;贺云波;刘青山;罗诚;言益军;关晓鸣 | 申请（专利权）人 | 广东阿达智能装备有限公司 |
| 代理机构 | 广州知顺知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 彭志坚 |
| 地址 | 528225广东省佛山市南海区狮山镇软件园桃园路南海产业智库城一期B栋507室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种MicroLED的巨量转移机构，包括源盘组件、目标盘组件、顶吸组件以及刺头组件；源盘组件位于目标盘组件的上方，顶吸组件安装于目标盘组件，刺头组件位于源盘组件的上方。顶吸组件包括移动板、安装于移动板的安装板、安装于安装板的支架以及安装于支架的环形顶吸盘，环形顶吸盘内为工作区域，且环形顶吸盘位于转移膜的上方。本发明的MicroLED的巨量转移机构有效提高MicroLED转移的精度，提高产品良率，实现MicroLED的高精度巨量转移。 |
