一种薄膜晶体管
基本信息
| 申请号 | CN201210595754.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103077973A | 公开（公告）日 | 2013-05-01 |
| 申请公布号 | CN103077973A | 申请公布日 | 2013-05-01 |
| 分类号 | H01L29/786(2006.01)I;H01L29/24(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L21/203(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 纪成友;贾道峰 | 申请（专利权）人 | 青岛红星化工集团自力实业有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 266000 山东省青岛市李沧区四流北路35号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种薄膜晶体管器件及其制作方法。本器件包括衬底11、源漏极19、有源层17、绝缘层15以及栅极13，其中有源层为含VIB族金属氧化物。各结构层采用真空蒸发方法和溅射方法制备。可实现工艺大为简化，性能更加优良。 |
