一种上下分布式双工件台装置
基本信息
申请号 | CN201510398828.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN104950598B | 公开(公告)日 | 2017-05-24 |
申请公布号 | CN104950598B | 申请公布日 | 2017-05-24 |
分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 项宗齐 | 申请(专利权)人 | 中夏芯基(上海)科技有限公司 |
代理机构 | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 胡剑辉 |
地址 | 230000 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道北、习友路东 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种上下分布式双工件台装置,其包括设有一凸台的基座,所述凸台上设有一第一水平导轨与一支撑架,支撑架上设有第二水平导轨,该第二水平导轨平行并位于所述第一水平导轨上端;所述两水平导轨分别连接有第一水平滑座、第二水平滑座,所述第一水平滑座、第二水平滑座分别沿所述两水平导轨分别具有一相同的水平滑动行程;第一水平滑座、第二水平滑座分别固定连接有一第一L形支架、第二L形支架,所述两L形支架分别设有竖向滑座,所述两竖向滑座分别通过支撑台设置工作台。本发明的两个工作台通过水平导轨、竖直导轨交换各自位置,在不同位置完成不同的工序,并通过交换位置完成工序的交换,实现了PCB板曝光与装卸的同时进行,增加了曝光效率。 |
