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一种LDI双工件曝光装置及曝光方法

基本信息

申请号	CN201510434790.9	申请日	-
公开（公告）号	CN104950599A	公开（公告）日	2015-09-30
申请公布号	CN104950599A	申请公布日	2015-09-30
分类号	G03F7/20(2006.01)I	分类	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人	张磊;王晓光;卫功文	申请（专利权）人	中夏芯基（上海）科技有限公司
代理机构	北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	合肥芯硕半导体有限公司;中夏芯基（上海）科技有限公司
地址	230000 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道北、习友路东
法律状态	-

摘要

本发明提供了一种LDI双工件曝光装置，其包括第一保护门、第二保护门、第一工件台与第二工件台；所述第一工件台、第二工件台分别用于固定待曝光的PCB板，所述第一工件台、第二工件台在自身的移动行程范围内对PCB板进行曝光；所述第一保护门、第二保护门分别设于所述第一工件台、第二工件台的上侧，所述第一保护门、第二保护门分别平行且处于不同平面，所述第一保护门、第二保护门可沿自身所在平面位移至所述第二工件台、第一工件台的上侧；本申请还提供了LDI双工件曝光装置的曝光方法。本发明提供的曝光装置通过设置安全门，避免操作人员触碰到运动中的工件台；还通过保护挡板将工件台隔开，可阻挡操作人员的手误入曝光区域一侧，被运动的吸盘撞到。