直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据压缩方法
基本信息
| 申请号 | CN201210189351.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102736449B | 公开（公告）日 | 2014-10-15 |
| 申请公布号 | CN102736449B | 申请公布日 | 2014-10-15 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 陈勇;陈修涛;张爱民 | 申请（专利权）人 | 中夏芯基（上海）科技有限公司 |
| 代理机构 | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 | 代理人 | 合肥芯硕半导体有限公司;中夏芯基（上海）科技有限公司 |
| 地址 | 230601 安徽省合肥市经济技术开发区锦绣大道68号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种在直写式光刻系统中倾斜扫描的图像数据的压缩方法，每次读取N×N位图数据，以字为单位，同时进行N行位图数据进行压缩，压缩后数据依次为行起始标志、压缩后的数量、位图数据或位图压缩数据，位图压缩数据和起始标志是不会出现的N×N位图。本发明的压缩方法简单，速度快；压缩数据后的数据在传输中可以用行方式传输，速度宜控制。 |
