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一种新型多晶硅片清洗机

基本信息

申请号	CN201520925971.7	申请日	-
公开（公告）号	CN205248239U	公开（公告）日	2016-05-18
申请公布号	CN205248239U	申请公布日	2016-05-18
分类号	H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	郭长明;王潇;赵海洋;张立;许春杰;谢保卫	申请（专利权）人	江苏润丽光能科技发展有限公司
代理机构	南京众联专利代理有限公司	代理人	周蔚然
地址	221600 江苏省徐州市沛县经济开发区沛屯大道西侧
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了一种新型多晶硅片清洗机，包括清洗仓、沥水仓和干燥仓，清洗仓内中间横向设置轨道一，所述轨道一两侧设置喷雾喷头，喷雾喷头之间设置超声波发射器，沥水仓内设置轨道二，沥水仓内左侧上方设置干燥空气入口，干燥仓与沥水仓尺寸相同，干燥仓左侧下方设置干燥空气入口二，干燥仓与沥水仓中间设置挡板，所述挡板在轨道二通过处开有通道，本实用新型所述的新型多晶硅片清洗机，通过轨道一和轨道二的运作，将码放整齐的多晶硅片在清洗仓内清洗完成运送至沥水仓，沥水仓内设置干燥空气入口一，在自然沥水过程中加速水分蒸发，在干燥仓内设置干燥空气入口二，降低空气含水量，提高干燥速度，整个过程自动化完成，节约人力，减少人为的损坏。