全形态测量激光干涉仪

基本信息

申请号 CN202020080097.2 申请日 -
公开(公告)号 CN211452213U 公开(公告)日 2020-09-08
申请公布号 CN211452213U 申请公布日 2020-09-08
分类号 G01B9/02(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 伍玮;罗利娟;钟海 申请(专利权)人 四川中科卓尔光学有限公司
代理机构 成都中汇天健专利代理有限公司 代理人 成都威博恩科技有限公司
地址 610000 四川省成都市自由贸易试验区成都市双流区西南航空港经济开发区牧华路二段1518号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种全形态测量激光干涉仪,包括壳体,壳体整体呈匚型,壳体上从上至下依次设有反射标准镜组件、测试平台和激光准直镜组件;测试平台用于固定被测元件,其与壳体通过升降装置连接,激光准直镜组件用于向测试平台上的被测元件及反射标准镜组件发射直线激光,反射标准镜组件用于反射直线激光至激光准直镜组件。本实用新型测试平台通过升降装置与壳体连接,使得测试平台可在激光准直镜组件和反射标准镜组件之间进行移动,以改变其相对位置。如此,工作人员仅在测试的时候调节测试平台的位置即可改变测试过程中的透射率和反射率,使得摄像机上得到的条纹更加清晰,提高测试效率同时提高了测试准确度。