一种氮化硅热压烧结设备
基本信息
| 申请号 | CN202111657931.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114413629A | 公开（公告）日 | 2022-04-29 |
| 申请公布号 | CN114413629A | 申请公布日 | 2022-04-29 |
| 分类号 | F27B17/00（2006.01）I;F27D99/00（2010.01）I | 分类 | 炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉〔4〕; |
| 发明人 | 陈全 | 申请（专利权）人 | 苏州昂炻高新材料科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘娟 |
| 地址 | 215299江苏省苏州市吴江区江陵街道长安路2358号吴江科技创业园综合楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种氮化硅热压烧结设备，涉及氮化硅热压烧结设备技术领域，本发明包括工作台，工作台上端设置有壳体，壳体内设置加热装置，壳体的下端开设有第一通孔，工作台贯穿开设有第二通孔，工作台的下方设置有能经第二通孔和第一通孔进入到壳体内的承压板，通孔内设置有密封组件，壳体内设置有能沿竖直方向移动的竖向压板，壳体内还设置有能沿横向移动的横向压板，竖向压板的下端设置有能沿竖向压板下端面移动的固定板，横向压板的上端设置有导向组件，导向组件能带动固定板同步移动，固定板与横向压板之间还设置有间隙补偿组件。能够对氮化硅施加单轴向力的同时，能够对氮化硅的侧壁施加压力，使氮化硅侧壁受到的压力可调。 |
