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一种升降旋转装置

基本信息

申请号 CN201621269269.0 申请日 -
公开（公告）号 CN206271686U 公开（公告）日 2017-06-20
申请公布号 CN206271686U 申请公布日 2017-06-20
分类号 H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李文;韦孟锑;丁治祥;刘伟 申请（专利权）人 江苏奥特维自动化科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 214000 江苏省无锡市新区珠江路25号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种升降旋转装置，包括驱动装置，所述驱动装置上连接有横移装置，所述横移装置上装有升降装置，所述升降装置上连接有旋转装置；所述旋转装置包括带动中轴转动的摆臂，所述中轴上同步安装有硅片吸附装置；所述摆臂的端部与旋转控制装置滑动和/或滚动连接，用于使所述摆臂转动。该升降旋转装置，通过带动摆臂的动作，实现了中轴的转动，进而带动了中轴上端硅片吸附装置上硅片的转动，通过中轴上同步安装的硅片吸附装置，实现了硅片的运载与转动，同时为了更好的实现硅片旋转功能，避免干涉，将旋转装置安装在升降装置上，为了带动硅片的输送，而将升降装置安装在横移装置上，从而完成了在输送过程中实现使硅片旋转的功能。