一种硅片供料装置
基本信息
| 申请号 | CN201621269291.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206610796U | 公开（公告）日 | 2017-11-03 |
| 申请公布号 | CN206610796U | 申请公布日 | 2017-11-03 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李文;韦孟锑;丁治祥 | 申请（专利权）人 | 江苏奥特维自动化科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新区珠江路25号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种硅片供料装置，包括至少一个供料模块，所述供料模块包括移动装置、存料座，所述存料座安装在所述移动装置上，所述移动装置包括横移装置和升降装置，所述升降装置连接在所述横移装置上。通过供料模块中的移动装置带动存料座移动，实现了硅片清洗后与检测前的衔接，避免使用人工搬运，从而提升了生产效率。 |
