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单驱动输送规整装置

基本信息

申请号 CN201720311530.7 申请日 -
公开（公告）号 CN206610798U 公开（公告）日 2017-11-03
申请公布号 CN206610798U 申请公布日 2017-11-03
分类号 H01L21/677(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 李文;韦孟锑;丁治祥;王美;桑俞;黄浩 申请（专利权）人 江苏奥特维自动化科技有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 214000 江苏省无锡市新区珠江路25号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种单驱动输送规整装置，单驱动输送规整装置包括输送部、规整部、规整带动部和驱动部，其中：规整部设置在输送部侧边，规整部与输送部之间形成有夹角；规整带动部连接在驱动部和规整部中间，被配置为将驱动部传递的动力传送到规整部；输送部和规整带动部均与驱动部连接，驱动部同时带动输送部和规整带动部。通过输送部进行硅片的输送，通过规整部进行硅片的规整，输送部与规整部同时与同一个驱动部连接，并由该驱动部驱动输送、规整，从而实现了输送装置与规整装置的同步运动，避免了硅片输送过程中的卡顿及破损。