一种升降旋转装置
基本信息
| 申请号 | CN201611047884.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN106449509A | 公开（公告）日 | 2017-02-22 |
| 申请公布号 | CN106449509A | 申请公布日 | 2017-02-22 |
| 分类号 | H01L21/683(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 李文;韦孟锑;丁治祥;刘伟 | 申请（专利权）人 | 江苏奥特维自动化科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 214000 江苏省无锡市新区珠江路25号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种升降旋转装置，包括驱动装置，所述驱动装置上连接有横移装置，所述横移装置上装有升降装置，所述升降装置上连接有旋转装置；所述旋转装置包括带动中轴转动的摆臂，所述中轴上同步安装有硅片吸附装置；所述摆臂的端部与旋转控制装置滑动和/或滚动连接，用于使所述摆臂转动。该升降旋转装置，通过带动摆臂的动作，实现了中轴的转动，进而带动了中轴上端硅片吸附装置上硅片的转动，通过中轴上同步安装的硅片吸附装置，实现了硅片的运载与转动，同时为了更好的实现硅片旋转功能，避免干涉，将旋转装置安装在升降装置上，为了带动硅片的输送，而将升降装置安装在横移装置上，从而完成了在输送过程中实现使硅片旋转的功能。 |
