一种光刻板
基本信息
| 申请号 | CN202120544009.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214504119U | 公开（公告）日 | 2021-10-26 |
| 申请公布号 | CN214504119U | 申请公布日 | 2021-10-26 |
| 分类号 | G03F1/42（2012.01）I;G03F1/60（2012.01）I;G03F9/00（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 易翰翔;武杰;郝锐;李玉珠;陈慧秋 | 申请（专利权）人 | 广东德力光电有限公司 |
| 代理机构 | 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人 | 颜希文;管莹 |
| 地址 | 529000广东省江门市江海区彩虹路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及光刻板技术领域，公开了一种光刻板，包括基板、有效芯片和无效芯片，基板由有效区域和无效区域组成，有效区域为以基板的中心为圆心的圆形区域，无效区域为位于有效区域的外周的环形区域，有效芯片设有多个，多个有效芯片设置在有效区域上，无效芯片设有多个，多个无效芯片设置在无效区域上。本实用新型将无效芯片设置在位于有效区域外周的无效区域内，在无效区域内使用无效芯片替代有效芯片，有效防止有效芯片在无效区域内发生污染或无效化而出现异常，无需目检，节约了时间，降低返修率，降低成本，提高生产效率和产品质量。 |
