一种采用分级补偿技术的电容检测装置

基本信息

申请号 CN201520129125.4 申请日 -
公开(公告)号 CN204439098U 公开(公告)日 2015-07-01
申请公布号 CN204439098U 申请公布日 2015-07-01
分类号 G01D5/24(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 陆游;张晰泊 申请(专利权)人 北京芯动联科微电子技术有限公司
代理机构 北京中企鸿阳知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 北京芯动联科微电子技术有限公司
地址 100080 北京市海淀区海淀大街3号鼎好大厦A705
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提出了一种采用分级补偿技术的电容检测装置,包括:与传感器的检测电容相连的分级补偿装置,其中,分级补偿装置包括多个级联的补偿单元,每个补偿单元包括:第一和第二补偿电容;电荷敏感放大器,电荷敏感放大器的正向输入端连接至第一补偿电容的另一端,电荷敏感放大器的负向输入端连接至第二补偿电容的另一端;第一和第二反馈电容,其中,相邻的两个补偿单元之间通过第一和第二级联电容相连。本实用新型有较高的匹配精度高和补偿范围宽的特点。