陀螺仪系统及用于其的正交耦合和电耦合的补偿装置

基本信息

申请号 CN201510099113.6 申请日 -
公开(公告)号 CN104613949B 公开(公告)日 2017-10-24
申请公布号 CN104613949B 申请公布日 2017-10-24
分类号 G01C19/00(2013.01)I;G01C25/00(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 张晰泊 申请(专利权)人 北京芯动联科微电子技术有限公司
代理机构 北京中企鸿阳知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 北京芯动联科微电子技术有限公司
地址 100080 北京市海淀区海淀大街3号鼎好大厦A705
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出一种陀螺仪系统及用于其的正交耦合和电耦合的补偿装置,补偿装置包括:正交耦合补偿模块位于陀螺仪传感器芯片内且与陀螺仪表头相连,用于对陀螺仪传感器芯片受到的机械正交耦合项引起的误差进行补偿,包括:第一电荷敏感放大器和第一增益放大器;电耦合补偿模块位于陀螺仪传感器芯片内且与陀螺仪表头相连,用于对陀螺仪表头的驱动反馈电极和传感检测电极之间的寄生电容产生的误差进行补偿,其中,电耦合补偿模块包括:缓冲器和第二增益放大器。本发明对陀螺仪表头制造工艺引起的机械正交耦合项和寄生电容引起的电耦合项进行补偿,消除这两项对有用信号的干扰。