一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置
基本信息
| 申请号 | CN202021094718.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212834018U | 公开（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申请公布号 | CN212834018U | 申请公布日 | 2021-03-30 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 张彦利;赵永尚;赵永雷;张全顺 | 申请（专利权）人 | 内蒙古中晶科技研究院有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 覃曼萍 |
| 地址 | 010070内蒙古自治区呼和浩特市金桥开发区宝力尔街15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其包括“Z”形的可伸缩式导气管组件；本实用新型的有益效果：本实用新型结构简单，设计可伸缩式导气管组件，可根据气柱偏移的位置调节长度，使进气口位于产品中心，保证每柱产品内有且只有一个进气口，确保炉内产品均匀通气，沉积效果良好，产品表面炭黑减少或无炭黑；提高了产品的沉积质量，值得大范围推广使用。 |
