一种带间级联探测器及其制作方法
基本信息
申请号 | CN202011463550.9 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112582497A | 公开(公告)日 | 2021-03-30 |
申请公布号 | CN112582497A | 申请公布日 | 2021-03-30 |
分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I;H01L31/0352(2006.01)I;H01L31/109(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 黄文祥 | 申请(专利权)人 | 睿创微纳(无锡)技术有限公司 |
代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李晓光 |
地址 | 214001江苏省无锡市新吴区菱湖大道200号中国传感网国际创新园G8-403-A | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种带间级联探测器及其制作方法,该带间级联探测器由多级级联台阶构成,每一级联台阶包括电子势垒层、超晶格吸收区和空穴势垒层。第一至第三级超晶格吸收区采用InAs/InAsSb二类超晶格,既保持了带间级联探测器的自身优势,又可降低暗电流水平,从而改善带间级联探测器的探测率。 |
