一种太阳能电池返工片的处理方法

基本信息

申请号 CN201710485025.9 申请日 -
公开(公告)号 CN107195728A 公开(公告)日 2017-09-22
申请公布号 CN107195728A 申请公布日 2017-09-22
分类号 H01L31/18(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 缪乾;朱海龙;王善晓;罗茂盛 申请(专利权)人 江阴鑫辉太阳能有限公司
代理机构 苏州国诚专利代理有限公司 代理人 江阴鑫辉太阳能有限公司
地址 215400 江苏省无锡市江阴市新桥镇新杨路15号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种太阳能电池返工片的处理方法,其无需二次制绒、节省酸用量,且无需返工片的前置镀膜工艺、减少色差,解决了返工片的亮面问题。将镀膜的脏片洗去膜,之后将洗去膜的硅片用炉前清洗工艺再清洗一次去掉硅片表面的脏污以及金属离子,之后将清洗后的硅片置于扩散炉管内进行热氧化工艺,通过热氧化工艺增加扩散氮及小氧保证片子方阻基本不变,且形成10nm±2nm的氧化层,之后将热氧化后的硅片进行湿法刻蚀工艺及正常镀膜工艺镀膜;镀膜出来后,将电池片经过正常印刷图,检测,制成电池片。