组合泵泵体
基本信息
| 申请号 | CN201921932055.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN210949019U | 公开（公告）日 | 2020-07-07 |
| 申请公布号 | CN210949019U | 申请公布日 | 2020-07-07 |
| 分类号 | F04B23/08(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 李回城;任宁;包华斌;陈明月 | 申请（专利权）人 | 上海肇民动力科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海立群专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 杨楷;毛立群 |
| 地址 | 201515上海市金山区茸卫公路389号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及半导体设备制造领域，公开了一种组合泵泵体，包括：泵壳，内部形成为腔体，泵壳上还设置有至少两个腔体开口；隔离板，设置于泵壳内，将腔体分隔为相互独立的第一腔体和第二腔体；第一腔体至少具有一个完整的腔体开口，第二腔体至少具有另一个完整的腔体开口。本申请中的组合泵泵体通过设置隔离板将泵壳内的腔体分为相互独立的第一腔体和第二腔体，并且，第一腔体和第二腔体能够和其他机械结构组成相互独立的两个泵结构，从而优化泵的空间结构，对独立的泵结构进行合并，减小安装泵结构所需要的空间，使得泵结构适用于更紧凑的空间内。此外，通过安装组合泵泵体，能够减少安装步骤而提高安装效率。 |
