集成分子束外延的新型约瑟夫森结制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202111575030.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114361325A | 公开（公告）日 | 2022-04-15 |
| 申请公布号 | CN114361325A | 申请公布日 | 2022-04-15 |
| 分类号 | H01L39/22（2006.01）I;H01L39/24（2006.01）I;C23C14/02（2006.01）I;C23C14/14（2006.01）I;C23C14/28（2006.01）I;C23C14/54（2006.01）I;C30B23/02（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 姚晓梅;吴永政;季阳;王乔;杨冠卓 | 申请（专利权）人 | 华东计算技术研究所（中国电子科技集团公司第三十二研究所） |
| 代理机构 | 上海段和段律师事务所 | 代理人 | 祁春倪 |
| 地址 | 201800上海市嘉定区嘉罗路1485号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种集成分子束外延的新型约瑟夫森结制备方法，本方法适用于新型材料体系的高质量约瑟夫森结的制备，各真空部件通过传样杆实现互联，通过挡板阀进行隔离，实现各步骤之间的高真空有机互联，有效保证各步骤之间材料的纯度与薄膜的质量。在分子束外延腔体中添加多种束源炉，保证绝缘层材料体系的丰富性，在离子束蒸镀腔体中，采用不同种类的超导金属作为约瑟夫森结三明治结构的顶端与低端。本发明大大丰富了约瑟夫森结系统中的材料体系，又为结区的制备提供了全周期的高真空与高洁净度，极大程度提升了制得的约瑟夫森结的质量。因此，本方法对于超导干涉仪，超导量子计算机，参量放大器等以约瑟夫森结为基础的器件制备具有重要意义。 |
