一种新型游星轮载体
基本信息
| 申请号 | CN202022143372.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213635924U | 公开（公告）日 | 2021-07-06 |
| 申请公布号 | CN213635924U | 申请公布日 | 2021-07-06 |
| 分类号 | H01L21/673 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 朱超;邓见会 | 申请（专利权）人 | 北京石晶光电科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 洛阳华和知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 陈佳丽 |
| 地址 | 100086 北京市海淀区知春路128号1号7层楼702 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种新型游星轮载体，包括游星轮本体(1)、设置于游星轮本体的边缘上的轮齿(2)、设置于游星轮本体上的工件孔(3)，靠近工件孔角部的侧壁上设有在光刻腐蚀抛光加工时用于避让晶片角部的凸壁(31)，从而彻底解决光刻腐蚀抛光加工过程中角部崩边的缺陷，提高晶片加工质量，提高产品综合合格率。 |
