首页/ 北京石晶光电科技股份有限公司/ 专利详情

一种小直径晶片清洗盒

基本信息

申请号 CN202022456405.X 申请日 -
公开（公告）号 CN213026071U 公开（公告）日 2021-04-20
申请公布号 CN213026071U 申请公布日 2021-04-20
分类号 H01L21/673(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 朱中晓;张凯剑 申请（专利权）人 北京石晶光电科技股份有限公司
代理机构 洛阳华和知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 刘亚莉
地址 100086北京市海淀区知春路128号1号7层楼702
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种小直径晶片清洗盒，包括盒体、设置于盒体上的多个清洗槽及定位孔，所述清洗槽的两侧沿其长度方向对称设有内壁为弧面的多个夹持槽，位于清洗槽同一侧上的相邻夹持槽呈间隔设置；位于清洗槽底部的盒体上沿清洗槽的长度方向设有多个透水孔。清洗时晶片放置在夹持槽内，相邻晶片之间存在间距，避免叠片现象的出现，保证单个晶片的清洗需要，洗净质量高，同时清洗盒具有定位孔，允许将至少两个清洗盒叠放在一起实现组合式清洗，不但清洗数量多，而且清洗过程中放置于相对夹持槽内的晶片受另一清洗盒的覆盖，避免因晶片体积小漂浮起来造成的跑料、丢料现象。