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一种透明喷墨头的基于MEMS及印刷工艺的制备方法

基本信息

申请号	CN202010257427.5	申请日	-
公开（公告）号	CN111572203B	公开（公告）日	2021-06-08
申请公布号	CN111572203B	申请公布日	2021-06-08
分类号	B41J2/16;B41J2/14	分类	印刷；排版机；打字机；模印机〔4〕;
发明人	郑冬琛	申请（专利权）人	北京泰微华赢技术有限公司
代理机构	北京慕达星云知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	崔自京
地址	100000 北京市昌平区回龙观西大街35号院1号楼1层162
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种透明喷墨头的基于MEMS及印刷工艺的制备方法，喷墨头前端包括墨水腔板和喷嘴板，墨水腔板和喷嘴板均采用玻璃晶圆制成，透明喷墨头的制备包括以下步骤：S1、在墨水腔板的玻璃晶圆上蒸镀下电极，利用丝网印刷工艺按照电极图案印刷压电陶瓷层；S2、在压电陶瓷层上继续印刷上电极；S3、通过半导体键合工艺将墨水腔板和喷嘴板键合在一起；S4、在压电陶瓷极化仪中将压电陶瓷层中的压电陶瓷极化。本发明使喷墨头的内部结构被直观观察，减少喷墨头的故障检测步骤和检修维护成本，喷嘴板固定稳固同时适应于多种墨水成分，还能简化压电驱动端的制备工艺、减少化学品的使用以及降低压电驱动端的制备成本，以满足生产及环保需求。