一种超高真空样品转移机构

基本信息

申请号 CN202022643112.2 申请日 -
公开(公告)号 CN213832914U 公开(公告)日 2021-07-30
申请公布号 CN213832914U 申请公布日 2021-07-30
分类号 B65D81/20(2006.01)I;B65D25/54(2006.01)I 分类 输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料;
发明人 郭鸿杰;冯秋洁;王湘麟;赵府 申请(专利权)人 宁波国际材料基因工程研究院有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 潘登
地址 315000浙江省宁波市宁波高新区聚贤路1299号研发园2F
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种超高真空样品转移机构,该超高真空样品转移机构包括转移体、载物件、无源吸气泵、真空计和观察窗。转移体形成有转移腔,转移体上设有第一真空法兰、第二真空法兰、第三真空法兰和第四真空法兰,第一真空法兰能够与样品制备真空系统密封连接。载物件设在转移腔中,载物件用于承载样品。无源吸气泵与第二真空法兰密封连接,无源吸气泵能够无源形成并维持转移腔的真空环境。真空计与第三真空法兰密封连接。观察窗与第四真空法兰密封连接,第四真空法兰位于转移体的顶壁上。该超高真空样品转移机构能够便于长时间的运输且能长时间维持超高真空度。