一种新型碳化硅粉料合成用的坩埚

基本信息

申请号 CN202120557611.1 申请日 -
公开(公告)号 CN214406949U 公开(公告)日 2021-10-15
申请公布号 CN214406949U 申请公布日 2021-10-15
分类号 F27B14/10(2006.01)I 分类 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕;
发明人 黄四江;刘得伟;段金炽;陈诺夫;普世坤;沙智勇;尹归;杨海平;王美春;殷云川;朱念 申请(专利权)人 云南鑫耀半导体材料有限公司
代理机构 昆明祥和知识产权代理有限公司 代理人 董昆生
地址 677000云南省临沧市临翔区忙畔街道忙畔社区喜鹊窝组168号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及碳化硅粉料合成工艺领域,具体公开一种新型碳化硅粉料合成用的坩埚,包括圆柱形坩埚本体和盖体,所述坩埚本体的底部为弧形,所述坩埚整体的材料为碳化钽,本发明采用弧形底部使整个使得在碳化硅合成工艺中产量显著提高,采用碳化钽为材料制备坩埚,增加了坩埚的使用寿命,极大的减少了成本支出。