一种新型碳化硅粉料合成用的坩埚
基本信息
申请号 | CN202120557611.1 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN214406949U | 公开(公告)日 | 2021-10-15 |
申请公布号 | CN214406949U | 申请公布日 | 2021-10-15 |
分类号 | F27B14/10(2006.01)I | 分类 | 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕; |
发明人 | 黄四江;刘得伟;段金炽;陈诺夫;普世坤;沙智勇;尹归;杨海平;王美春;殷云川;朱念 | 申请(专利权)人 | 云南鑫耀半导体材料有限公司 |
代理机构 | 昆明祥和知识产权代理有限公司 | 代理人 | 董昆生 |
地址 | 677000云南省临沧市临翔区忙畔街道忙畔社区喜鹊窝组168号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型涉及碳化硅粉料合成工艺领域,具体公开一种新型碳化硅粉料合成用的坩埚,包括圆柱形坩埚本体和盖体,所述坩埚本体的底部为弧形,所述坩埚整体的材料为碳化钽,本发明采用弧形底部使整个使得在碳化硅合成工艺中产量显著提高,采用碳化钽为材料制备坩埚,增加了坩埚的使用寿命,极大的减少了成本支出。 |
