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一种静电吸附装置监测系统

基本信息

申请号	CN201820325806.1	申请日	-
公开（公告）号	CN208013277U	公开（公告）日	2018-10-26
申请公布号	CN208013277U	申请公布日	2018-10-26
分类号	G01R19/00;G01R29/12	分类	测量；测试;
发明人	汪海涛;徐绍宸;李富海;刘晨颖;陈思遥	申请（专利权）人	吸力奇迹（北京）科技有限公司
代理机构	北京知呱呱知识产权代理有限公司	代理人	吸力奇迹（北京）科技有限公司;吸力奇迹（天津）科技有限公司
地址	100191 北京市海淀区知春路7号致真大厦A座4层A006
法律状态	-

摘要

本实用新型提供了一种静电吸附装置监测系统，应用于双极性静电吸盘；其中，双极性静电吸盘包括第一输入端和第二输入端；所述静电吸附装置监测系统包括：PLC控制器、电压表、电流表和电场强度探头；其中，电压表并联在第一输入端和第二输入端之间；电压表通过第一数据线与PLC控制器连接；第一数据线为I2C数据总线或RS232总线；第二输入端接入电流表；电流表通过第二数据线与PLC控制器连接；第二数据线为I2C数据总线或RS232总线；电场强度探头内埋于双极性静电吸盘接触层内；电场强度探头通过第三数据线与PLC控制器连接；第三数据线为I2C数据总线或RS232总线；电流表检测到的第一电流＞预设电流时，PLC控制器发出报警信号。