一种镀膜装置
基本信息
| 申请号 | CN202121827585.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215365982U | 公开（公告）日 | 2021-12-31 |
| 申请公布号 | CN215365982U | 申请公布日 | 2021-12-31 |
| 分类号 | C23C26/00（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 朱松山;洪耀;李晓波;张民井;韩中伟 | 申请（专利权）人 | 枣庄睿诺电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 林波 |
| 地址 | 277800山东省枣庄市高新区复元三路3168号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种镀膜装置，属于镀膜技术领域。所述镀膜装置包括腔体、转动轴、传动组件、驱动组件和基板架，转动轴转动连接于腔体上，且转动轴与腔体密封连接；传动组件设置于腔体内侧，传动组件的输入端与转动轴设置于腔体内侧的内侧端连接；驱动组件固定于腔体外侧，驱动组件的输出端与转动轴设置于腔体外侧的外侧端连接；基板架设置于腔体内，基板架一端与腔体沿第一方向滑动连接，传动组件的输出端与基板架的另一端连接，且基板架分别与腔体和传动组件的输出端绝缘连接。本实用新型的镀膜装置，降低了腔体失压概率，提高了基板架移动的可靠性。 |
