一种去除坩埚有机材料残留的工艺方法
基本信息
| 申请号 | CN202111405128.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114130753A | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN114130753A | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | B08B3/12（2006.01）I;B08B9/08（2006.01）I;F26B5/04（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I | 分类 | 清洁; |
| 发明人 | 洪耀;范明里;乔文健;张民井;李晓波 | 申请（专利权）人 | 枣庄睿诺电子科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 牛海燕 |
| 地址 | 277800山东省枣庄市高新区复元三路3168号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种去除坩埚有机材料残留的工艺方法。所述工艺方法包括如下步骤：（1）将坩埚置于有机溶剂中浸泡，得到经有机溶剂处理的坩埚；（2）将步骤（1）得到的坩埚置于水中浸泡，得到经水处理的坩埚；（3）在惰性气体氛围中，将步骤（2）得到的坩埚进行干燥处理，完成坩埚有机材料残留的去除。本发明通过对去除坩埚有机材料材料的方法的设计，进一步采用在惰性气体氛围中，对坩埚进行干燥处理的操作，完成了坩埚有机材料材料的去除，得到了洁净度较高的坩埚。 |
