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气体的高精度电子压力流量闭环控制系统

基本信息

申请号 CN202111425191.2 申请日 -
公开（公告）号 CN114063688A 公开（公告）日 2022-02-18
申请公布号 CN114063688A 申请公布日 2022-02-18
分类号 G05D27/02（2006.01）I;G01N30/32（2006.01）I 分类 控制；调节;
发明人 郝明富;黄华;刘大伟 申请（专利权）人 上海仪电分析仪器有限公司
代理机构 上海九泽律师事务所 代理人 周云
地址 200000上海市松江区徐塘路88号7幢4层、9幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种气体的高精度电子压力流量闭环控制系统，包括流量比例阀、流量传感器、ADC芯片、MCU、DAC芯片与可调电流源模块，所述流量传感器与所述ADC芯片输入端电连接，所述MCU分别电连接所述ADC芯片与DAC芯片，所述DAC芯片的输出端电连接所述可调电流源模块的输入端；所述流量比例阀具有电信号输入端与电信号反馈端，所述可调电流源模块的执行端电连接所述流量比例阀的电信号输入端，所述流量比例阀的电信号反馈端电连接所述可调电流源模块的反馈端。上述气体的高精度电子压力流量闭环控制系统，形成了一个用可调电流源模块控制气体流量的闭环系统，提高了气体流量的控制精度。