一种高精度探针水平研磨装置

基本信息

申请号 CN202110667287.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113319699A 公开(公告)日 2021-08-31
申请公布号 CN113319699A 申请公布日 2021-08-31
分类号 B24B19/16(2006.01)I;B24B55/06(2006.01)I;B24B41/06(2012.01)I;B24B47/12(2006.01)I;B24B47/20(2006.01)I;B24B47/04(2006.01)I;B24B41/00(2006.01)I;B24B41/02(2006.01)I 分类 磨削;抛光;
发明人 刘志广;颜烈刚;蒋文德;黎华盛;孙锐锋 申请(专利权)人 深圳市道格特科技有限公司
代理机构 深圳市中科创为专利代理有限公司 代理人 彭西洋;何路
地址 518000广东省深圳市龙华新区龙华街道清祥路宝能科技园6栋B座3楼KLM单位
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开一种高精度探针水平研磨装置,包括机架,以及设置于机架上的研磨模块、夹针模块和压针模块。本发明通过设置易于更换的磨砂面对探针进行研磨,且磨砂面与机架的Y轴平行地直线移动,便于利用磨砂面上的其他未损耗区域对探针进行研磨,提高研磨的精度;设置夹手夹持着探针与X轴平行地旋转,使得探针可以在研磨面上均匀地研磨针尖部分,提高研磨精度;压板可以压紧探针针尖进行磨削,防止针尖摆动,并根据按磨削量同步进给压紧力。