用于存储器芯片测试的MEMS探针卡
基本信息
| 申请号 | CN202021063303.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN212275894U | 公开（公告）日 | 2021-01-01 |
| 申请公布号 | CN212275894U | 申请公布日 | 2021-01-01 |
| 分类号 | G01R31/28;G01R1/067 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘志广;孙锐锋 | 申请（专利权）人 | 深圳市道格特科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市中科创为专利代理有限公司 | 代理人 | 深圳市道格特科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙华新区龙华街道清祥路宝能科技园6栋B座3楼KLM单位 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及探针卡技术领域，特别涉及用于存储器芯片测试的MEMS探针卡，多层陶瓷板的底面设置有MEMS探针，MEMS探针电连接于测试电路板，测试电路板电连接于测试机，MEMS探针接触存储芯片的管脚PAD位，MEMS探针包括第一悬臂梁和第二悬臂梁，第二悬臂梁和第一悬臂梁之间形成镂空层。与现有技术相比，本实用新型的用于存储器芯片测试的MEMS探针卡通过第一悬臂梁和第二悬臂梁的双层承重结构可以更好满足测试过程中的机械强度，并且镂空层利于提高韧性，可以有效延长MEMS探针的使用寿命，节约成本。 |
