一种探针卡
基本信息
| 申请号 | CN202020892980.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213210351U | 公开（公告）日 | 2021-05-14 |
| 申请公布号 | CN213210351U | 申请公布日 | 2021-05-14 |
| 分类号 | G01R31/28;G01R1/067 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王合作;万言言;孙锐锋;张威;颜烈刚;黎华盛;刘志广;蒋文德;白亚辉 | 申请（专利权）人 | 深圳市道格特科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市华盛智荟知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 胡国英 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙华新区龙华街道清祥路宝能科技园6栋B座3楼KLM单位 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供了一种探针卡，包括具有孔洞的PCB板，孔洞中设有补强环，补强环一侧设有具有孔洞的绝缘垫圈及探针树脂层，另一侧设有观察密闭板并与补强环形成腔体，观察密闭板内设有第一通道及第二通道，第一通道一端连接通气装置，另一端连通腔体；通气装置包括置于腔体内的气体通管以及通气弹性柱，通气弹性柱穿过绝缘垫圈及探针树脂层并连通气罩装置的气孔，腔体与绝缘垫圈、探针树脂层以及气罩装置的内环对腔体的延伸腔组成一个整体型腔。本实用新型在气罩装置形成气帘与被测芯片之间形成气帘动态密闭型腔，减少测试电弧产生，降低探针卡损耗，提高测试效率50％；减少氮气损耗50％；单针测试电流达5安培。 |
