一种垂直式晶圆探针卡
基本信息
| 申请号 | CN202110665784.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113253101A | 公开（公告）日 | 2021-08-13 |
| 申请公布号 | CN113253101A | 申请公布日 | 2021-08-13 |
| 分类号 | G01R31/28（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 孙锐锋;刘志广;刘俊 | 申请（专利权）人 | 深圳市道格特科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市中科创为专利代理有限公司 | 代理人 | 彭西洋;谭雪婷 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙华新区龙华街道清祥路宝能科技园6栋B座3楼KLM单位 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及探针卡技术领域，公开了一种垂直式晶圆探针卡，通过绝缘固定片可拆卸的设置于限位凸起的上端壁上，限位凸起穿设于通槽设置，且限位凸起可拆卸的嵌设于限位槽内设置，绝缘固定片起到有效避免测试探针穿过顶板的作用，当测试探针下压在触点上时，通过弧形弹性连接杆弯折产生的弹力来形成稳定接触，有效避免可能产生的接触不良的问题，绝缘固定片使得测试探针上的弧形弹性连接杆均沿同一方向弯折，可有效避免相邻的测试探针间发生接触而出现短路的问题，有效提高了垂直探针卡的测试稳定性和可靠性，提高了产品测试良率，且结构简单，装配方便快捷，装配精度高，有效提高了效率，实用性强。 |
