一种可灵活调节水平度的MEMS探针卡
基本信息
| 申请号 | CN202110785812.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113419163A | 公开（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申请公布号 | CN113419163A | 申请公布日 | 2021-09-21 |
| 分类号 | G01R31/28（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 孙锐锋;刘志广;刘俊 | 申请（专利权）人 | 深圳市道格特科技有限公司 |
| 代理机构 | 深圳市中科创为专利代理有限公司 | 代理人 | 彭西洋;彭涛 |
| 地址 | 518000广东省深圳市龙华新区龙华街道清祥路宝能科技园6栋B座3楼KLM单位 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及晶圆探针卡技术领域，公开了一种可灵活调节水平度的MEMS探针卡，通过内水平调节套筒和外水平调节套筒均分别设有多个长度规格，且两相邻的内水平调节套筒和外水平调节套筒的长度规格均相差30微米，将MEMS探针卡组件安装在支架的下端壁上，当MEMS探针卡组件出现不平整时，通过测量MEMS探针卡组件的水平度，然后分别更换不同长度规格的内水平调节套筒和外水平调节套筒，从而实现灵活调节MEMS探针卡组件的水平度，且内水平调节套筒和外水平调节套筒分别通过螺栓和压板固定在支架上，牢固可靠，有效避免探针卡在移动过程中水平度发生改变，有效保证了MEMS探针卡的测量精度。 |
