一种多效应检测集成气体传感器制造方法的制造方法、传感器及其应用
基本信息
| 申请号 | CN201810503081.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108732212B | 公开（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申请公布号 | CN108732212B | 申请公布日 | 2020-12-15 |
| 分类号 | G01N27/12 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张洪泉;安文斗;张凯 | 申请（专利权）人 | 重庆海士测控技术有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 重庆海士测控技术有限公司;重庆海士智能科技研究院有限公司;哈尔滨工程大学 |
| 地址 | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种多效应检测集成气体传感器制造方法的制造方法、传感器及其应用，属于传感器技术领域。技术要点：利用薄膜工艺在基底上制作芯片电极，利用微加工技术制造带有隔热槽的芯片基板，利用微滴涂工艺涂布敏感材料和载体材料，烧结处理，催化剂涂布，引线焊接封帽。实现了对气体的检测限的拓宽，同时，利用半导体式气体传感器检测下限较低，当半导体传感器检测到微量气体时，催化气体传感器可认为被测气体浓度接近零，实现对催化式气体传感器的“零点”校准，利用半导体式气体传感器上限具有饱和区特点来实现对催化式气体传感器特定浓度下的校准，从而提高了集成传感器芯片的智能化水平，提高了芯片使用可靠性。 |
