一种原位生长氧化铝载体温湿度集成传感器的制造方法、传感器及工作方法
基本信息
| 申请号 | CN201810503085.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108955929B | 公开（公告）日 | 2020-05-15 |
| 申请公布号 | CN108955929B | 申请公布日 | 2020-05-15 |
| 分类号 | G01K7/16;G01N27/04 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张凯;张洪泉;安文斗 | 申请（专利权）人 | 重庆海士测控技术有限公司 |
| 代理机构 | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 重庆海士测控技术有限公司;重庆海士智能科技研究院有限公司;哈尔滨工程大学 |
| 地址 | 150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区南通大街145号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种原位生长氧化铝载体温湿度集成传感器的制造方法、传感器及工作方法，属于传感器技术领域。技术要点：利用原位生长的多孔Al2O3陶瓷作为湿度单元敏感体，同时，湿度单元敏感体兼顾作为温度单元基底；温度敏感电阻采用厚膜丝网印刷工艺制备，温度敏感电阻兼顾作为湿度单元的热净化器；温度单元和湿度单元电极的引出线采用金浆烧工艺制得；多孔Al2O3陶瓷浸渍表面修饰剂；集成芯片采用储能点焊工艺焊接的4脚基座上，管帽采用防水透气膜封装。该传感器芯体具有纳米管阵列结构特征，在大气条件下，可实现对环境中的温度和湿度进行检测。实现传感器温度与湿度检测单元的集成化，提高各功能部件的复用，最大限度降低功能部件的数量。 |
