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一种磷化铟单晶炉磷泡升降装置

基本信息

申请号 CN201720806411.9 申请日 -
公开（公告）号 CN207109149U 公开（公告）日 2018-03-16
申请公布号 CN207109149U 申请公布日 2018-03-16
分类号 C30B29/40 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 叶顺闵 申请（专利权）人 重庆鼎力弘科技有限公司
代理机构 北京华识知识产权代理有限公司 代理人 叶顺闵;谢明达;重庆鼎力弘科技有限公司
地址 201204 上海市浦东新区北中路383弄11号401室
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种磷化铟单晶炉磷泡升降装置，包括支撑柱、磷泡杆与磷泡，所述支撑柱顶部连接支撑座，所述支撑座顶部设有升降电机，所述升降电机底部连接升降杆，所述支撑座底部两侧连接有滑板，所述升降杆底部连接第一支撑板，所述第一支撑板两端通过滑轮与滑板内侧滑动连接，所述第一支撑板底部两侧通过连接板连接有第二支撑板，所述第二支撑板顶部设有旋转电机，所述旋转电机底部连接磷泡杆，所述磷泡杆底部连接磷泡，所述磷泡底部连接磷泡管，本实用新型用于磷化铟单晶炉内磷注入法合成磷化铟多晶，通过设置升降电机与旋转电机，使磷泡在磷化铟合成工艺中可升降和水平旋转，并通过两个滑轮在滑板内侧滑动，增强了升降的稳定。