准分子激光器放电腔的窗片结构及准分子激光器专利查询专利号|摘要-满商公司网

准分子激光器放电腔的窗片结构及准分子激光器

基本信息

申请号	CN202010616243.3	申请日	-
公开（公告）号	CN113872025A	公开（公告）日	2021-12-31
申请公布号	CN113872025A	申请公布日	2021-12-31
分类号	H01S3/034（2006.01）I	分类	基本电气元件;
发明人	赵江山;郭馨;王倩;刘广义;刘斌;沙鹏飞;詹绍通;刘明雷;胡馨月;江锐	申请（专利权）人	北京科益虹源光电技术有限公司
代理机构	深圳市科进知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	魏毅宏
地址	100000北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层201
法律状态	-

摘要

本发明涉及准分子激光器领域，具体涉及一种准分子激光器放电腔的窗片结构，包括：光学窗片V1、V2、V3、V4；其中V2、V3为内部光学窗片，V1、V4为外部光学窗片，单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置。本发明中双光学窗片结构设计极大改善了以往单一光学窗片结构容易因为应力变形所导致的使用寿命下降和传输效能降低的问题。另单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置，且各光学窗片接近布儒斯特角设置可以起到有效的激光传输偏振特性增强作用。双光学窗片结构的设计对于腔体内部气体密封特性也得到显著的改善。本发明能够有效提升光学窗片使用寿命，提升激光传输效能。