一种放电腔位置调节装置及准分子激光组件
基本信息
| 申请号 | CN202122688972.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215955678U | 公开（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申请公布号 | CN215955678U | 申请公布日 | 2022-03-04 |
| 分类号 | H01S3/03（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈文斌;刘斌;马放;吴劲松;张寅虎;宋兴亮 | 申请（专利权）人 | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 代理机构 | 北京融智邦达知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴强 |
| 地址 | 100176北京市大兴区经济技术开发区融兴北一街19号院中寰工程4号楼一层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及准分子激光技术领域，尤其是涉及一种放电腔位置调节装置及准分子激光组件，放电腔位置调节装置包括支撑件、电机直线驱动件以及调节件等，作为主动力源的电机可进行闭环控制，使其运动有精确地反馈，便于系统使用，精度大大提高，可精确地控制位移毫米以及量级，也不受人为影响，同时电动驱动方式可准确记录位置信息，为后续调整提供可靠的数据。 |
