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一种离线光学元件装调平台及装调方法

基本信息

申请号	CN202010842162.5	申请日	-
公开（公告）号	CN114077033A	公开（公告）日	2022-02-22
申请公布号	CN114077033A	申请公布日	2022-02-22
分类号	G02B7/18（2021.01）I;G02B27/62（2006.01）I;H01S3/02（2006.01）I	分类	光学;
发明人	王倩;蔡森;赵江山;刘广义;赵丽红;胡馨月;周翊;江锐	申请（专利权）人	北京科益虹源光电技术有限公司
代理机构	深圳市科进知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	曹卫良
地址	100000北京市大兴区经济技术开发区经海四路156号10号楼二层201
法律状态	-

摘要

本发明涉及面形检测技术领域，尤其涉及一种离线光学元件装调平台及装调方法，包括：导轨、设置在所述导轨上的第一转台和第二转台、棱镜平台、安装在棱镜平台上的多个棱镜；激光器和波前传感器；两个转台用于使激光器和波前传感器旋转至所需的角度，所需的角度指激光器发射的激光束照射在所述多个棱镜P1‑Pn中的一个上被反射后，反射光线可以被波前传感器所接收；装调平台还包括处理器，用于接收并显示波前传感器发送的波前图像，并根据所述波前图像判断光学元件面型的变化情况。本申请通过波前传感器对光学元件面型在装配过程中的面型变化情况进行监测，实时对装配过程进行调整优化，可保证光学元件在装配过程中最大程度保持其原始面型状态。