首页/ 北京科益虹源光电技术有限公司/ 专利详情

一种激光器光谱在线测量装置及方法

基本信息

申请号 CN202010244202.6 申请日 -
公开（公告）号 CN111289107B 公开（公告）日 2022-03-11
申请公布号 CN111289107B 申请公布日 2022-03-11
分类号 G01J3/45（2006.01）I;G01J9/02（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 刘广义;江锐;韩晓泉;赵江山;沙鹏飞;殷青青;张华;胡馨月 申请（专利权）人 北京科益虹源光电技术有限公司
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 任岩
地址 100176北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号10号楼二层
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种激光器光谱在线测量装置及方法，其中，该激光器光谱测量装置包括：第一光路组件和第二光路组件，第二光路组件与第一光路组件构成测量光路。其中，第二光路组件包括：FP标准具和光栅，匀化处理后的激光光束经过FP标准具以产生干涉条纹；以及光栅在测量光路中设置于FP标准具之后，用于对经过FP标准具的激光光束进行色散处理。本发明通过FP标准具与光栅在测量光路中的“串联”设置，实现了对激光光束中心波长较宽范围的高精度测量，以及对相应线宽和E95的光谱参数的精准测量，该测量光路中无运动元件，结构简单紧凑、测量精度高、稳定性高，其相应的测量算法简单高效，具有极高的科研或商业应用价值。