一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置
基本信息
| 申请号 | CN202011073348.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112147151A | 公开（公告）日 | 2020-12-29 |
| 申请公布号 | CN112147151A | 申请公布日 | 2020-12-29 |
| 分类号 | G01N21/88(2006.01)I;G01N21/01(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 王曦;俞伟洋;陈坚;吴周令 | 申请（专利权）人 | 合肥利弗莫尔仪器科技有限公司 |
| 代理机构 | 合肥天明专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 合肥利弗莫尔仪器科技有限公司 |
| 地址 | 230031安徽省合肥市高新区望江西路800号创新产业园C4楼206室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种大口径多面体光学表面疵病自动化检测装置，包括有平台基座、滑动设置于平台基座上的载入载出移动工作台和可移动检测单元安装架、横向滑动设置于可移动检测单元安装架上的横向滑板、竖直滑动设置于横向滑板上的竖直滑板、固定于竖直滑板上的角度旋转台、与角度旋转台连接的模块化检测单元、固定连接于载入载出移动工作台上的水平旋转台和大口径多面体光学元件装夹装置。本发明可移动检测单元安装架的纵向移动实现待测元件的对焦，通过角度旋转台、水平旋转台使得模块化检测单元的探头朝向待测光学表面，通过横向滑板和竖直滑板的移动，实现模块化检测单元二维扫描检测，利用机器检测代替人工，大幅度提高检测效率及检测精度。 |
